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組分名稱

濃度范圍

平衡氣

氫氣 4% 氮氣
乙硼烷 5% 氮氣
磷烷 50ppm 氮氣
磷烷 0.5% 氮氣
磷烷 5% 氦氣
磷烷 5% 氮氣
氫氣 4% 氮氣
氟氣 0.95% 氖氣
氪氣 1.25%
磷烷 1% 氦氣
氧氣 30% 氦氣
乙硼烷 100PPM 氫氣
磷烷 50PPM 氫氣
甲烷 10% 氬氣
氨氣 10% 氦氣
氧氣 20% 氬氣
氫氣 7% 氦氣
乙硼烷 5% 氮氣
氪氣 1.2% 氖氣
氟氣 1% 氖氣
氪氣 1.5%
氟氣 1% 氖氣
氬氣 3.5%
氬氣 3.5% 氖氣
氙氣 0.01%
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